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罗亚杰如何不知道他这句话,会给光电技术研究所带来多大压力。
但这也是没有办法的事,
毕竟这是他们所擅长的领域,应该扛起大旗。
如今他们研究的分辨光刻装备,最大只能蚀刻22纳米规格的芯片,距离国际领先水平的7纳米,确实还有很远的距离。
主要大多数极紫外光刻机专利,基本上都被阿麦斯给垄断。
在这种情况下,想要研究出国产7纳米光刻机,无疑是又平添了难度。
奈何面对眼下的困境,除了研究出国产极紫外光刻机别无他法,否则就只能眼睁睁看着别人迈入5g,而国内只能原地踏步。
“放心吧。”
“对于高端芯片相关的项目,院里和国家都会大力的扶持。”
白新周接过罗亚杰的话,声音斩钉截铁的回应,似乎是想给大家更多信心。
当然放眼全国,肯定不止光电技术研究所,自己研究国产光刻机。
接下来他们都会获得更多的支持,也算是给光电技术研究所方面分担了不少压力。
总之无论哪方攻克相关技术,都国内半导体领域来说都是很好的消息。
而就在会议进行着的时候,徐源则突然想到,先前在杨老的牵线搭桥下,他参与了箐华赵翔教授的稳态微聚束项目。
通过激光操控储存环中的电子束,使电子束绕环一圈后形成精密的微结构。
也就是微聚束。
通过这种微聚束,能在激光波长及其高次凯波上辐射出高强度窄带相干光。
稳态微聚束光源把同步辐射,和自由电子激光结合起来。
可以得到高功率高亮度高重频,且窄带宽的光源。
并且波长可调。
借助这种特性,完全能代替高端光刻机的深极紫外光源。
甚至就连下一代波长6纳米的光源都能达到。
且不需要同步辐射的滤光器。
凭借这些优点和特性,显然是非常适合euV光刻。
还能称得上是简单粗暴。
不过稳态加器光源价格比较昂贵,体积上更是大的惊人。
如果真能够实现的话,恐怕都不能再用光刻机来称呼形容,而是直接变成了光刻工厂。
但从另外一方面来说,这种做法不同于阿麦斯的极紫外光刻机,很多专利问题都能够避免,其可行性还是比较高的。
要知道关于稳态微聚束的验证,先前赵翔团队已经完成相关实验。
既然国产极紫外光刻机的研工作,目前根本就看不到希望,不知道要多长时间才能追上国际水平,那么有了新的思路肯定要积极实验。
毕竟真能成功的话,效率惊人且庞大的光刻工厂。
不但能彻底解决眼下半导体领域的困境,甚至全球的芯片制造市场都能拿下来。
到时间说不定光刻机都会逐渐被淘汰掉。
……
虽然不知道白新周让他参加这场会议的目的,但既然心里面有了想法,肯定不能这时候还憋在心里不说。
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