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第1038章（第1页）

第1038章

“EUV极紫外光技术么......”

听到这个无比熟悉的名词，楚扬神色微微有些复杂，勾起了上一世的一些回忆。

现在这个时候市场上主流的光刻机设备大多是采用了DUV深紫外光技术，这种技术目前已经十分成熟，但受限于深紫外光的波长尺寸原因，所以DUV技术的极限仅可以生产出20纳米以上的芯片。

而在两年前，风车国的爱斯麦尔公司却是率先攻克了更为先进的EUV极紫外光技术！

其新技术所采用的极紫外光在波长尺寸方面具备极大的优势，远远小于之前深紫外光的波长尺寸，所以完全可以生产出尺寸更小的半导体芯片！

这个消息一经发出，对于全球光刻机设备市场，直接带来了十分巨大的冲击！

也正是这项技术的突破，让米国控制的爱斯麦尔公司在整个全球光刻机领域垄断了足足十几年！

直到十几年之后，楚扬重生之前，EUV光刻机技术领域才出现了一些突破......

楚扬记得很清楚，当初华夏国的华芯国际公司曾经在2018年向爱斯麦尔公司下订过一台采用EUV极紫外光技术的光刻机产品，但是因为米国方面的干预，这款设备最终没能交付。

这也导致华夏的半导体产业一直没能真正发展起来......

诸般思绪在脑海中一闪而过，楚扬终于回过神来，缓缓吐出一口气，看向神色明显有些黯然的美熟女教授，

“奥德蒙教授，其实EUV技术的研发方向，并非一定要使用极紫外光线作为光源......”

“可是这么多年来，经过无数次实验，只有紫外光线最适合对晶圆片进行有效曝光。”

“而在众多类型的紫外光线之中，也只有极紫外光线的波长能够达到20纳米以内......”

穿着白大褂的美熟女教授无奈地摇了摇头，这个基础性问题她们又怎么会没有想过。

但无数实验案例证明，目前能够适用于光刻机应用的只有紫外光线而已，甚至极紫外光线由于波长过短，所以形态极易不稳定，在进行曝光时容易出现问题。

“那你有没有考虑过使用X射线作为光刻机光源？”

“X射线？”

禁欲系美女教授微微一怔，然后直接毫不犹豫地摇了摇头，

“X射线的波长确实极短，甚至能够达到0.01纳米到10纳米，这已经远远小于极紫外光的最小波长。但是由于X射线的频率极高且穿透性极强，在进行曝光时能够瞬间击穿晶圆片，所以根本不可能用来作为光刻机的光源使用......”

X射线是一种频率极高，波长极短、能量很大的电磁波，其频率和能量仅次于伽玛射线，因为穿透性很强的缘故，之前甚至没有人考虑过可以将其作为光刻机光源。

楚扬却是微微一笑：

“如果说，可以在晶圆片和光刻胶之间置入一层可以阻挡X射线穿透的特殊涂层呢？”

“涂层？”

禁欲系美女教授娇躯微微一颤，然后一双漂亮的蓝色眸子瞬间瞪得浑圆，死死盯着一脸淡然笑意的楚扬，仿佛是听到了什么十分不可思议的事情一般！

“没错，而且这种涂层的材料我也知道，奥德蒙教授稍后可以去测试一下效果如何......”

楚扬点了点头，然后走到这位一脸震撼的美熟女教授身前，压低声音说出了一个名词，又将具体方案大概描述了一遍。

听到楚扬的话后，原本一脸震撼的美熟女教授这次直接整个人彻底呆在了那里！

好半晌一动不动，就仿佛是丢失了魂魄一般......

足足十几分钟之后，她才回过神来，有些惊疑不定地看向楚扬，第一次开始怀疑起这位华夏Boss的身份来。

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